Nghĩa chính
- Nhóm các kỹ thuật chế tạo hoặc tái tạo các cấu trúc, thường ở quy mô micromet đến nanomet, sử dụng tem, khuôn đàn hồi và mặt nạ quang phù hợpdanh từkhông đếm được (uncountable)A family of techniques for fabricating or replicating structures, usually on the micrometer to nanometer scale, using elastomeric stamps, molds, and conformable photomasks.